プリント基板検査、膜厚検査、薬液濃度センサーなど、各種計測機のトライシステムズ







































































































MICRO OHM TESTER
基板のパターン抵抗値測定、膜厚の厚み測定。延銅や金属薄膜の抵抗値測定、厚み測定。
◆主な仕様
測定原理 微小抵抗測定法(ケルビン法)
微小抵抗測定範囲 5.00μΩ〜15.000mΩ
測定レンジ (1)5.00〜150μΩ LSB=10nΩ
(2)140.00〜1500.0μΩ LSB=100nΩ
(3)1400.0〜15.000mΩ LSB=1μΩ
測定精度 レンジ(1)  ±0.2% ±10デジット
レンジ(2)  ±0.1% ±4デジット
供給電源 DC 6V 2A(WORLD電源ACアダプター付属)
ACアダプターAC100V〜AC240V 50/60Hz
使用温度条件 25℃ ±5℃ 周囲湿度65%
(腐食性ガスにさらされないこと)
外形寸法 124(高さ)×180(幅)×102(奥行)
(取手、ゴム足含まず)
総重量 約 1.5kg
データソフト対応PC DOS-V  Windows98(SE&ME)・2000・XP対応
PC接続ケーブル RS-232C(ストレートケーブル)
保存ファイル CSVファイルで保存可能
検査プローブ 測定限界数として約10万回(交換目安2年/1回)
オートスタート機能 外部信号・パネルスタートSW以外に、電流印加端子を
監視し接続確認後自動スタートする機能を搭載。
BANK選択機能 検査対象になる金属箔に依って、8種類の記憶領域
(BANK)を選択可能。BANK1は圧延銅を前もって学習
してあります。
◆ 用 途
高精度低抵抗測定器
銅膜厚換算機能搭載
◆ 特 長
本機は、延銅や金属薄膜の厚みを測定する為に開発された微少低抵抗測定器です。ハーフエッチング後の膜厚が高精度に測定できます。ケルビン法により測定された低抵抗値を、演算式に基づき膜厚値に換算して表示します。
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