高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能RBS）は、水素を除くすべての元素に対して定量性の良い組成分析を高い深さ分解能（原子層ごとの分析も可能）で行うことが可能な、優れた表面分析法です。また、同じ装置を使った高分解能弾性反跳粒子検出法（高分解能ERD）と組み合わせることにより、水素も含む全元素の定量性の良い組成分析がサブnmの深さ分解能で可能になります。Kyoto Analysis Lab では、高分解能RBS・高分解能ERDによる試料分析、同装置の設計・製作のほか、各種表面分析法に関する相談を承っております。
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