半導体スラリー供給パイプ洗浄テスト結果 　 洗 浄 効 果 比 較 例


今回の洗浄テストは、パイプ洗浄実験機を使用し
セリアスラリーが付着した供給パイプの洗剤による洗浄効果を比較しました。
使用液（洗剤）
１
 HA-２
２
 界面活性剤タイプ洗剤
３
 
純水
 

洗浄方法
 
液を１時間循環後、３０分純水にてリンス
 

結果
 
弊社洗剤にて完全除去を確認
弊社洗剤以外は、パイプ内部に残スラリーを確認
下記写真にて確認


セリアスラリー供給パイプ洗浄例
洗浄前
洗浄後
洗浄実験機にて洗浄

洗浄後パイプを切断して顕微鏡にて観察　（パイプのバックの色から透過度が分かります）
弊社HA-２にて洗浄　断面拡大写真
弊社HA-２にて洗浄　顕微鏡写真

界面活性剤タイプ洗剤にて洗浄　断面拡大写真
界面活性剤タイプ洗剤にて洗浄　顕微鏡写真
純水にて洗浄　断面拡大写真
純水にて洗浄　顕微鏡写真
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